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055、147号元素:铫

  放寒假,柳腾和三姐、四姐要在户市多待半个月,过小年才赶回竹千坪。

  这半个月,柳腾都待在兴庄的腾坤手机CPU生产线和实验室中。

  和三姐依叶、四姐依朵、胤平表哥、杨姐姐、杨姐姐副手从龙中科大光电所挖过来37岁副高职称的彭大敏博士,7081所的几位高工,及树墩儿、谭英琼等两百多位镜片生产技工,对已经研制了一年半的初见曙光EUV光源,进行首次测试。

  杨姐姐刚出月子就非得上班不可,再让她坐月子会得产后抑郁。

  还能怎么办?只得给她上班。柳腾把自己的办公室让出来,没办法只有他的办公室有独立的厨房、卫生间和卧室。

  杨姐姐父母每天跟着过来公司帮带小外甥,也方便杨姐姐照顾小表侄。

  三姑跟着奶奶回去了,没办法带娃理念和杨姐姐格格不入,待在公寓里闲得慌,干脆回竹千坪算了。

  为了这次测试,柳腾作了许多准备工作,比如:对密阵提供的控制系统进行一次重大升级,升级为智能控制系统,消耗了密阵一格电,代价可以接受。

  花费重金对无尘车间进行升级,由原来的万级,升到百级。这个百级还是靠菊花国的来干,龙国找遍干无尘车间的公司都干不了,没这个技术和机器设备。

  想升最高级一级,菊花国负责接待的副总那轻蔑的表情,柳腾印象深刻,他说:一级不卖给龙国人,给再多钱也不卖,再说你们龙国也用不到一级无尘车间。

  柳腾差点把桌上的咖啡糊在,这个比自己还矮的菊花男脸上,心中发狠:我穿越过来就没人敢在自己面前,指着自己说侏儒,你小子是第一个。你小菊花嚣张不了多长时间,老子就是过来专打脸的。

  小菊花在CPU生产中光刻胶、蚀刻胶、超纯水、纯镜片、传感器、接触器、双工作台、划片机、减薄机等占尽优势。

  老子现在凭穿越两世,加上三个维度的密阵帮助:过来平推你的,任你心比天高,老子也让你命比纸薄。

  柳腾经常自诩:躺平摸鱼,得过且过,但对于国仇家恨的菊花国第一次冲动想干一件:把它踩到狗屎里。

  在这里把六通的屎说出来,特别带劲。

  上世EUV光源使用CO2激光驱动锡靶产生辐射,从而得到极紫外光源。

  锡靶材在激光的照射下,产生的等离子体辐射出的极紫外光峰值在13.5nm,在经过多层钼硅介质膜的反射镜时有2%的带宽,并且有70%的高反射率。

  这个高反射率就决定输出功率的大小,也就是说在同样功率的极紫外光,输出功率大,那么它的工作效率高,产出就高,反之则低。

  柳腾穿越过来开了金手指,也无法短时间内解决反射带宽和反射输出功率问题。

  现在只能拿出秘密武器:密阵!对的,凭借的就是密阵。

  密阵四年以来,第一次充电满到红色,这次红色就是为了光刻机而留的。就一个问题,密阵直接抽完了电,整整50万度电啊!

  光刻机给出的答案是:制造一种新物质,它在元素周期表中,第147号元素:铫。

  柳腾看着这个147号铫铫元素的介绍:它是锡元素经过特殊的反映在特定条件下,产生一种具有锡同样化学性质的记忆金属;

  它有三个特殊属性:一是对极紫外光特别敏感,吸收并排除其他光源,只反射纯净的极紫外光;二是不会吸收和损耗极紫外光,不会产生任何碎屑,耐高温和耐腐蚀。三是利于光放大,缩小波长,波长只有1.35nm,没有辐射。

  也就是说:通过铫元素就能得到稳定、功率大、向外辐射的极紫外光,极大简化光刻机产生光源问题。

  密阵给出的生产铫元素生产的方法,都是基于当前科技水平的;不过缺点是:生产效率低点,生产成本高点,这都可以接受。

  在持续不断的重金和人老支持下,奶奶现在新材料的生产科研水平,可以说达到龙国最顶尖的水平之一。

  她只用了两个月就把铫元素生产出来,这次下来户市一起托运过来,只生产了三十公斤。

  光这三十公斤铫就花费了3个多亿,实验室制备不便宜。大规模工业生产还可以降一半成本,甚至更底。

  现在赶时间顾不上了,基础研究真的花钱多、见效慢,难怪急功近利或资本不雄厚的公司不敢玩。

  铫元素不是锡的银白色,而是像块煤一样的银黑色,熔点和石英石差不多。

  柳腾看胤平表哥用球磨机把它磨到10000目后,用水析法过滤到20000目,用来生产三种镜片:平面透镜、凹面镜和凸透镜,作用是透光、聚光和散光。

  在两百多位研磨师傅粗磨,由树墩儿和7081五位高级技师精磨,让四姐、谭英琼和调光师父调焦,在三姐和五位高级技师的装配下;

  经过半个月的努力,终于在06年小年那天下午,把光刻机的EUV光源模块组装出来。

  杨瑾禾是管理硬件的总师,她细心的再一次检查。无尘洁净恒温21度下,柳腾还能看到,她身穿无尘防静电服的背上出现了汗渍,可见她对这次工作的重视程度。

  她呼了一口气,心境平复下来,对柳腾坚定地点了点头。

  柳腾叫四姐把早已经准备好的摄像机打开,拍摄这个历史时刻。

  用了铫元素的EUV传播只需要在真空下就可以传播,不必再使用浸液,增加生产步骤和难度。EUV模块只有一米五方,外面还有一个大的透明防爆玻璃罩。

  不用CO2激光发生器,而是使用氮化镓LED蓝光做发生器。

  柳腾在众人目光中,按下启动键。

  一道蓝光从顶上照射下来,经过铫元素的凸透镜聚焦在下面的凹透镜上,再经过锆膜、球面反射镜、平面反射镜,经过一道上小狭缝打在光栅上,由光栅衍射在CCD上成像,经过数据处理后,在电脑显示出来。

  这台电脑也是密阵控制系统的一部分。

  杨瑾禾紧张地盯着电脑显示的数据,手中的笔飞快地在已打好的数据对照图上打钩。

  经过半个小时的对照,杨瑾禾再确认一下结果,然后一脸平静地对屏声静气的众人道:“经过比对,光刻机EUV光源完全达到设计要求。”说完已是泪流满面,完全不顾糊了的妆容。

  整个实验室爆发出激烈的欢呼声,众人拍手、搂抱相贺。

  柳腾看着激动的众人,心情久久不能平静:这是自己穿越过来,改变这个世界跨出最大的一步。

  自己实现穿越三问,又进步了一小步。

  这就是穿越的目的:我见证,我改变,我穿越,我快乐!

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